滲氦型標(biāo)準漏孔VTL-A型

滲氦型標(biāo)準漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。

關(guān)鍵詞：標(biāo)準漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規(guī)真空計 | 高低真空校準裝置 | 氦漏孔校準裝置

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滲氦型標(biāo)準漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感；長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標(biāo)準漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10-5-10-13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標(biāo)準漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補償約為3%/°C，并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性，出口閥門為手動(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制，出口為真空，可重復(fù)充氣。

年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異，例如，對于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y 。10-7Pa·m3/s量級以下的漏孔，正常情況下是不需要關(guān)閉出口閥門的，但由于客戶不清楚漏孔的結(jié)構(gòu)，通常會關(guān)閉閥門。對于滲氦型漏孔，長時間關(guān)閉閥門會積攢一定的氦氣，使得滲透元件的邊界條件遭到破壞，使用時短時間內(nèi)漏率值會偏大，打開閥門經(jīng)過一段時間(24小時)平衡后,漏率值會恢復(fù)。
滲氦型標(biāo)準漏孔的應(yīng)用包括氦質(zhì)譜檢漏儀校準、作為氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部標(biāo)準漏孔、氦質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率校準以及實際漏孔漏率的確定等。