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膨脹法真空裝置

本真空標(biāo)準(zhǔn)裝置主要用于( 1.3×105 ~ 1.3×10-1 ) Pa范圍內(nèi)電容薄膜真空計(jì),熱偶真空計(jì)等的檢定/校準(zhǔn)工作,主要具有以下特點(diǎn): 1.1兼顧比較法和膨脹法兩種裝置,便于客戶靈活靈活掌握和保證設(shè)備可以長(zhǎng)期使用; 1.2膨脹法裝置部分選取所有儀器和設(shè)備均可以提供長(zhǎng)期質(zhì)保。比較法用標(biāo)準(zhǔn)器電容薄膜規(guī)有原廠提供質(zhì)保。 1.3采用專用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集及處理,工作效率高; 1.4系統(tǒng)軟件終身免費(fèi)升級(jí),裝置總體水平達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規(guī)真空計(jì) | 高低真空校準(zhǔn)裝置 | 氦漏孔校準(zhǔn)裝置

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產(chǎn)品詳情

一  概述
本真空標(biāo)準(zhǔn)裝置主要用于( 1.3×105 ~ 1.3×10-1 ) Pa范圍內(nèi)電容薄膜真空計(jì),熱偶真空計(jì)等的檢定/校準(zhǔn)工作,主要具有以下特點(diǎn):
1.1兼顧比較法和膨脹法兩種裝置,便于客戶靈活靈活掌握和保證設(shè)備可以長(zhǎng)期使用;
1.2膨脹法裝置部分選取所有儀器和設(shè)備均可以提供長(zhǎng)期質(zhì)保。比較法用標(biāo)準(zhǔn)器電容薄膜規(guī)有原廠提供質(zhì)保。
1.3采用專用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集及處理,工作效率高;
1.4系統(tǒng)軟件終身免費(fèi)升級(jí),裝置總體水平達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

二  主要技術(shù)指標(biāo)
2.1 設(shè)備組成:膨脹系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、前級(jí)壓力測(cè)量系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成。
2.2 技術(shù)原理:靜態(tài)比較法,一級(jí)膨脹;
2.3 測(cè)量范圍:(1.3×105~1.332×10 ) Pa;
2.4 極限真空度:≤1×10-4Pa;
2.5 不確定度技術(shù)要求:: 
(1.332×105~1.332Pa×103)Pa          U≤0.08 %  k=2  靜態(tài)比對(duì)法;
(1.332×103~13.32Pa)       U≤0.2%  k=2   一級(jí)膨脹;
(13.32×10~1.332Pa)        U≤0.5%  k=2   一級(jí)膨脹;
(1.332×10~0.1332Pa)        U≤1%  k=2   一級(jí)膨脹

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