亚洲午夜无码久久久久_国产精品免费av片在线观看_三年片在线观看免费观看大全中国_77777_亚洲午夜久久多人_曰韩少妇内射免费播放

undefined
+
  • undefined

微波等離子體芯片開(kāi)封設(shè)備

芯片解封也稱開(kāi)封、開(kāi)蓋和開(kāi)帽,開(kāi)封過(guò)程中主要是去除互連結(jié)構(gòu)中的下填料(主要成份為環(huán)氧樹(shù)脂),使引線鍵合或芯片本身完整裸露出來(lái)。

關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規(guī)真空計(jì) | 高低真空校準(zhǔn)裝置 | 氦漏孔校準(zhǔn)裝置

電話:

產(chǎn)品詳情

芯片解封也稱開(kāi)封、開(kāi)蓋和開(kāi)帽,開(kāi)封過(guò)程中主要是去除互連結(jié)構(gòu)中的下填料(主要成份為環(huán)氧樹(shù)脂),使引線鍵合或芯片本身完整裸露出來(lái)。環(huán)氧樹(shù)脂材料封裝芯片示意圖如圖3所示,開(kāi)封過(guò)程要對(duì)完整封裝的IC做局部腐蝕使其暴露,同時(shí)保持芯片功能的完整無(wú)損,保持 die, bond pads, bond wires乃至lead-不受損傷, 以及Au、Cu或Ag引線不受損傷。

                 圖3 環(huán)氧樹(shù)脂材料封裝芯片示意圖

 微波等離子法開(kāi)發(fā)了適用于各類半導(dǎo)體器件的微波等離子體刻蝕專用裝備,如圖4所示。微波等離子體刻蝕設(shè)備具有能量密度高、刻蝕效果好、刻蝕速率快、可通入各類保護(hù)氣體等優(yōu)點(diǎn),適用于環(huán)氧樹(shù)脂和硅基混合材料的快速刻蝕開(kāi)封,同時(shí)在純O環(huán)境下可對(duì)Au和Cu引線進(jìn)行有效保護(hù),通入H2可對(duì)Ag引線進(jìn)行有效保護(hù),滿足各類不同金屬引線芯片的高效率刻蝕。

 

等離子開(kāi)封

開(kāi)封過(guò)程不造成損傷保留表面特征

保留原始污染雜質(zhì)和失效點(diǎn)

 

化學(xué)開(kāi)封

會(huì)減小導(dǎo)線直徑會(huì)減小機(jī)械強(qiáng)度

會(huì)腐蝕銅線和鋁質(zhì)焊盤

 

等離子開(kāi)封

只使用氫氧配方,對(duì)芯片損傷小減少80%開(kāi)封時(shí)間

全自動(dòng)開(kāi)封過(guò)程

保留原始污染雜質(zhì)和失效點(diǎn)常規(guī)氣壓,減少維修和維護(hù)成本

 

傳統(tǒng)等離子開(kāi)封

CF4刻蝕對(duì)鈍化層和芯片會(huì)造成損傷

雖然添加CF4,但開(kāi)封時(shí)間依然較長(zhǎng)

需手動(dòng)清洗每個(gè)蝕刻步驟所產(chǎn)生的無(wú)機(jī)雜質(zhì)

可能導(dǎo)致原始污染雜質(zhì)和失效點(diǎn)會(huì)被消除

真空系統(tǒng),維修和維護(hù)成本較高
 


圖4 微波等離子體刻蝕設(shè)備

 

采用微波等離子刻蝕設(shè)備對(duì)環(huán)氧樹(shù)脂硅混合材料封裝芯片進(jìn)行刻蝕開(kāi)封,未開(kāi)封前芯片表面形貌如圖5(激光開(kāi)封過(guò)后)所示,可見(jiàn)芯片鍵合Cu引線已被封裝材料涂覆,采用純O低壓環(huán)境對(duì)封裝芯片進(jìn)行刻蝕,刻蝕開(kāi)封后的芯片形貌如圖6所示,芯片表面的環(huán)氧樹(shù)脂封裝材料已全部被微波等離子體刻蝕,且鍵合材料Cu引線未被損傷,刻蝕后可見(jiàn)芯片表面清晰結(jié)構(gòu)。因此,微波等離子體刻蝕適用于半導(dǎo)體芯片的高效、穩(wěn)定、無(wú)損開(kāi)封。

圖5 未開(kāi)封芯片表面形貌及其截面示意圖

 

圖6 微波等離子體刻蝕開(kāi)封后芯片表面形貌及其截面示意圖

 

失效分析和質(zhì)量控制的應(yīng)用

1、 鍵合線(Wire bond):

? 銀線(Ag)

? 銅線、復(fù)合型膠凝材料、金線、 鋁線(Cu,PCC,Au,Al)

? 常規(guī)或經(jīng)過(guò)老化測(cè)試的樣品

2、 倒裝芯片(Flip Chip)

? 重布線層(RDL)

? 銅柱(Cu Pillar)、焊錫凸塊(Solder Bump)

? 扇入型和扇出型 WLP

3、 芯片

? BOAC

? SAW、BAW

? 砷 化 鎵 芯 片 、 氮 化 鎵 芯 片 GaAs,GaN

4、 封裝

? 2.5D / 3D

? SiP、CoWoS

? Chip on Board

5、 封裝材料

? High Tg

? Glob Top

? Underfill、DAF、FOW

? Clear Mold, Die Coat

6、 FA 類型

? 電氣過(guò)應(yīng)力(EOS)

? 遷移(Migration)

? 腐蝕(Corrosion)

? 雜質(zhì)污染(Contamination)

相關(guān)產(chǎn)品

產(chǎn)品詢價(jià)

如果您對(duì)我們的產(chǎn)品有興趣,請(qǐng)?jiān)诖隧?yè)面填寫相關(guān)信息并提交,會(huì)有工作人員及時(shí)與您聯(lián)系
提交留言
内射少妇36p亚洲区| 午夜内射中出视频| 消息称老熟妇乱视频一区二区| 漂亮人妻被中出中文字幕久久| 欧美性生交大片免费看a片| 熟女无套高潮内谢吼叫免费| 精品免费国产一区二区三区四区| 日韩欧美卡一卡二卡新区| 美女裸体视频永久免费| 亚洲色成人www永久在线观看| 国产男女爽爽爽免费视频| 国产av人人夜夜澡人人爽麻豆| 国产一区二区三区免费观看在线| 久久精品中文字幕无码| 亚洲欧洲精品a片久久99| 久久久精品人妻无码专区不卡| 国产精品丝袜久久久久久不卡| 看全色黄大色大片免费久久| 国产成人久久精品一区二区三区| 在线视频网站www色| 久久永久免费人妻精品| aa级女人大片喷水视频免费| 国产精品久久久久9999爆乳| 久久久精品国产免大香伊| 岛国无码av不卡一区二区| 亚洲精品无码久久久久秋霞| 国产一区二区三精品久久久无广告| 国产精品扒开腿做爽爽爽a片唱戏| 亚洲av色先锋资源电影网站| 免费看少妇作爱视频| 我和亲妺妺乱的性视频| 国产无吗一区二区三区在线欢| 又爽又黄又无遮挡网站动态图| 粗一硬一长一进一爽一a级| 亚洲国产欧美在线人成| 国产成人亚洲精品狼色在线| 国产精品亚洲一区二区在线观看| 国产人成高清在线视频99| 热久久国产欧美一区二区精品| 色综合久久88色综合天天| 国产高清视频一区三区|